哪种仪器可以，有种是不是叫X射线什么的仪器，即哪种类似于扫描电镜的仪器可无损的测试材料内部的排列方式

无损测试，内部结构的排列方式；

你好
X射线的类似这种：扫描型X射线荧光光谱仪。
非X射线的类似：
光学的：金相显微镜，用于对钢铁有色金属等材料的显微组织观察和分析。
金相图象分析仪，用于金相测定。
电子的：光电发射光谱仪，分析金属中的元素组成。
扫描电镜，对各种材料表面及微曲化学成分分析。

你这句话似乎有点歧义，不知道你到底要问啥， 1）扫描电镜上如果加装了eds能谱探头或者俄歇电子能谱探头，就可以分别分析样品被激发出的特征x射线信号或者俄歇电子信号。 2）扫描电镜可以不装上述探头，则不能做上述分析，例如只利用二次电子像或背散射电子像等手段做形貌分析。 3）也有不需要扫描电镜，单独的、或者加装在别的设备上的eds能谱分析仪和俄歇电子能谱分析仪，可以不依赖于扫描电镜而分析特征x射线信号或者俄缉肌光可叱玖癸雪含磨歇电子，但这样的分析的空间分辨率通常远低于加装在扫描电镜上的设备。 。 不知道这几点能不能解决你的问题。