为什么ITO薄膜高温后电阻率上升
答案:1 悬赏:70
解决时间 2021-01-18 01:33
- 提问者网友：人生佛魔见
- 2021-01-17 08:57
为什么ITO薄膜高温后电阻率上升
最佳答案
- 二级知识专家网友：时间的尘埃
- 2021-01-17 09:54
suxilin111 at 2009-8-31 10:41:49通点氧气试试jinyu2100 at 2009-9-02 10:23:12ITO 薄膜高温处理的目的一般是为了提高薄膜的透过率，但是同时也会引起电阻增加，这就是一个平衡的问题了。但是一般电阻不会增加太多，应该在可以接受的范围。如果增加太多，可以考虑通一点氧气，或者调整一下镀膜时氧气流量。lmxzsu2009 at 2009-9-03 20:31:13RE：在高温下退火后，ITO非晶膜的原子重组，形成比较稳定的多晶结构，ITO薄膜的晶粒变大而且均匀，从而影响了导电性能。具体原理参照半导体物理的内容。semicond at 2009-9-29 16:45:08受启发，谢谢分享！！！
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