为什么ITO靶材由90%In2O3和10%的SnO2组成？
答案:1 悬赏:80
解决时间 2021-02-28 16:16
- 提问者网友：兔牙战士
- 2021-02-27 15:59
为什么ITO靶材由90%In2O3和10%的SnO2组成？
最佳答案
- 二级知识专家网友：上分大魔王
- 2021-02-27 16:44
ITO的透光率和阻值由In2O3和SnO2 的比例控制，增加氧化铟的比例可以提高透光率，而增加氧化锡的比例则可以降低电阻值，目前的技术而言我们能够沉积100nm-200nm膜厚的ITO薄膜，为了达到90%的透光率氧化铟的比例需要达到90%，因此我们要采用的ITO靶材应满足SnO2:In2O3=1:9。
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