场发射扫描电镜能谱的分辨率是什么级别的

场发射扫描电镜能谱的分辨率是什么级别的

不管是钨灯丝、LaB6还是场发射的扫描电镜，电子束入射样品后，特征X射线都有1um左右的激发区域，所以能谱的分辨率和二次电子的分辨率相差很大。
经验来看，1nm的二次电子分辨率，EDS分辨率可能在20-50nm左右，二次电子能拍出几十纳米的颗粒轮廓，EDS面扫只能出来几百纳米的颗粒轮廓。