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请问扩散硅传感器和陶瓷压阻压力传感器有什么不同?

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解决时间 2021-11-08 10:53
请问扩散硅传感器和陶瓷压阻压力传感器有什么不同?
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扩散硅传感器:基本原理是利用半导体的压阻效应和微机械加工技术,在单晶硅片的特定晶向上,用光刻、扩散等半导体工艺制做一惠斯登电桥,形成敏感膜片,当受到外力作用时产生微应变,电阻率发生变化,使桥臂电阻发生变化(一对变大一对变小)在激励电压信号输出,经过计算机温度补偿、激光调阻、信号放大等处理手段和严格的装配检测、标定等工艺,生产出具有标准输出信号的压力变送器.陶瓷传感器:测量原理陶瓷传感器是干式传感器,过程压力直接作用在坚固的陶瓷膜片上,基板电极和膜片电极可以检测出与压力相关的电容变化,测量范围取决于陶瓷膜片的厚度。膜片破碎的自诊断功能。保证抗过压能力可达正常压力的40倍   。高纯度99.9%陶瓷,具有与哈氏合金相同的抗化学腐蚀能力。适用于真空场合。第二腔室用于提高机械强度,阻止因传感器损坏导致介质泄漏
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扩散硅压力传感器是外加压力通过不锈钢膜片、内部密封的硅油传递到敏感芯片上   ,敏感芯片不直接接触被测介质。以其灵敏度输出高,动态响应好,测量精度高,稳定性好,易于小型化,但易受温度影响,对于大于1kpa的均可测量是中档传感器的首选。陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达-40   ~135   ℃,而且具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度>2kV,输出信号强,长期稳定性好。具有优良的   线性精度、迟滞性和可靠性、性价比.原则上较高的量程也易于实现。这两种传感器都广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学   工程、气象、地质、地震测量等各个领域。
您好,硅压力传感器利用硅受压后电阻值变化来测量压力;陶瓷电容压力传感器利用受压后电容量变化来测压。 硅压力传感器的灵敏度高,成本低,受温度影响大。 陶瓷电容传感器重复性优秀,过载能力强,受温度影响小,感压截面积大,成本略高。 两者各有特点,没有哪一个有绝对优势。一般的应用建议选用硅压阻的,品种多,价格低。 希望我的回答能帮助到您!
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