半导体制作中热预算啥意思
答案:2 悬赏:70
解决时间 2021-12-14 15:11
- 提问者网友：剪短发丝
- 2021-12-14 09:02
半导体制作中热预算啥意思
最佳答案
- 二级知识专家网友：初心未变
- 2021-12-14 10:13
集成电路工艺中，多步退火过程中有(Dt)eff=D1t1+D2t2+...+Dntn，其物理意义就是要取得一定的扩散深度，可以采用多补退火（推进）的方式实现。上式左边的(Dt)eff就是热预算，其单位为cm^2，你可以任意搭配等式右边的式子，以完成热预算的要求。
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- 1楼网友：留下所有热言
- 2021-12-14 11:20
你好！
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