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如果用化学气相沉积法在硅片上镀铝,请问最大厚度能够达到多少?

答案:1  悬赏:10  
解决时间 2021-11-09 19:14
如果用化学气相沉积法在硅片上镀铝,请问最大厚度能够达到多少?
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我看到过日本的样品通过CVD法可以做到2mm,国内的我看到的是0.3mm,不知道有没有更好的,我也在寻找。
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