磁控溅射时，采用高纯锌靶，但是在溅射的过程中出现辉光，中间有个很亮的点在转动，电流很高，电压低，
答案:2 悬赏:30
解决时间 2021-02-13 08:29
- 提问者网友：冰点阿弟
- 2021-02-12 10:03
磁控溅射时，采用高纯锌靶，但是在溅射的过程中出现辉光，中间有个很亮的点在转动，电流很高，电压低，
最佳答案
- 二级知识专家网友：专属的偏见
- 2021-02-12 10:32
不是靶材中毒，靶材中毒是磁控溅射过程中，靶材磁场较强的地方轰击较严重，刻蚀出较深的沟槽，减少了靶的寿命。
如果在起辉后发现异常现象请按照接地是否良好，反射率是否太高，自偏压是否过大的顺序来检查。
如果在起辉后发现异常现象请按照接地是否良好，反射率是否太高，自偏压是否过大的顺序来检查。
全部回答
- 1楼网友：一场云烟
- 2021-02-12 11:25
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