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半导体IC制程,包括哪些步骤?

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解决时间 2021-11-01 03:44
半导体IC制程,包括哪些步骤?
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半导体IC制程,包括以下步骤,并重复使用:黄光(微影)蚀刻薄膜扩散CMP使用单晶硅晶圆(或IIIV族,如砷化镓)用作基层
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