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两阶段阀使用在什么行业?

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解决时间 2021-04-22 06:15
两阶段阀使用在什么行业?
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不銹鋼成形軟管密封全金屬閥門-2階段閥門,具體而言分為適應大氣壓的空間限制和緩衝啟動系統兩個步驟。於第一階段,先開啟旁通閥讓大氣緩慢進入真空壓。於第二階段,打開主要閥讓大氣完全進入真空壓。藉由兩階段的大氣抽取功能,來減少大氣驟然進入真空端對設備所造成的污染及對產品的破壞。2階段閥非常適合高真空應用,特別是像半導體或光學等需高潔淨環境的加工製程。


日揚科技設計所有系列閥門適用於真空排氣系統,高真空應用的抽氣系統,半導體技術,與研究系統等。
- 本體: 不锈鋼304S.S. 拋光)
- 接口端外徑: 3/4~2英吋
- 軟管: 304 S.S formed bellows
- 操作:單動
- 密封: Viton O型環
- 漏率: 2×10-9 std.cc./second
- 使用壓力範圍: 2×10-9 torr 到760 torr
- 作動空氣壓力: 4~6 kg/cm2
- 耐溫限制: 150°C
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