磁流体密封在半导体中的应用

磁流体密封在半导体中的应用

在半导体生产工艺中从单晶生长到集成电路晶圆的生产设备基本都会用到真空密封，具体用到的有单晶生长炉、离子注入机、立式扩散炉、真空蒸镀、溅射以及各种CVD设备。他们主要是应用了磁流体密封在转轴传动密封中无摩擦、高真空、寿命长等优点。有些wafer的清洗烘干设备也会用到磁流体密封，这时该密封装置的主要作用是防尘。