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mm理论的缺陷

答案:1  悬赏:80  
解决时间 2021-10-05 15:10
mm理论的缺陷
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mm,高600mm,长1400mm,最大重量可达300公斤,真空室长1400,宽1100和高1200mm。分辨本领4nm,加速电压0.... 200mm的Si片,每小时可检测100个缺陷。日立公司为了克服以往在室温下工作的冷场发射枪测长扫描电镜(CD-SEM...
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