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为什么铜越厚,蚀刻补偿也要增加

答案:2  悬赏:70  
解决时间 2021-11-08 09:10
为什么铜越厚,蚀刻补偿也要增加
最佳答案
铜越厚,侧蚀越大,蚀刻因子就越小,所以补偿也要增加,否则蚀刻后线都没有了!
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三氯化铁溶液 cu+2fecl3==2fecl2+cucl2
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