真空镀膜机SIOx

答案:1 悬赏:10

解决时间 2021-10-03 20:43

提问者网友：我是女神我骄傲
2021-10-02 20:33

真空镀膜机SIOx

最佳答案

二级知识专家网友：酒者煙囻
2021-10-02 20:57

实验装置

为平板式电容式耦合放电装置，单体通过真空室的负压引入真空室，然后在RF 电源(13.56MHz)的激发下形成等离子体。通过等离子体化学气相沉积在基片表面形成Siox 薄膜。实验采用射频电源为OW～500W，单体、Ar 经由控制阀控1，2，3 输入到反应腔体。

电源为40KHz。样品准备：实验中所使用基材为PET、载玻片和单晶硅。在放入真空室之前基材都是经过乙醇超声波清洗5 分钟，然后吹干。

在样品结构性能分析中，FTIR 分析是在日本岛津公司生产的FTIR－8400 型傅立叶变换红外光谱仪上进行，波长扫描范围是400cm－1～4000cm－1，精度为4cm－1；薄膜的阻隔性能采用美国Illinois 生产的8001 透氧仪(广州标际包装设备有限公司代理)测量氧的透过性、兰光TSY－Tl 透湿性测试仪测量水蒸气的透过性。单体由Sigma－Aldrich(中国)采购，没有进行进一步的提纯。

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