PECVD设备有辐射吗?
答案:2 悬赏:0
解决时间 2021-02-28 16:33
- 提问者网友：绿海猖狂
- 2021-02-27 20:31
f4rfff
最佳答案
- 二级知识专家网友：温柔刺客
- 2021-02-27 20:49
射频电源和设备辉光时的光线有幅射
全部回答
- 1楼网友：堕落奶泡
- 2021-02-27 21:19
pecvd的机台有射频产生器(rf generator)会产生电磁波, 但一般的rf generator本身就会有防止电磁辐射外泄的屏壁, 一般有规糢的公司都会测附近的电磁波辐射强度, 以确保工作人员免于遭受电磁波微害的安全
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