板式PECVD镀膜的厚度和制绒有没有关系
答案:2 悬赏:50
解决时间 2021-03-05 04:05
- 提问者网友：无悔疯狂
- 2021-03-04 22:52
板式PECVD镀膜的厚度和制绒有没有关系
最佳答案
- 二级知识专家网友：厭世為王
- 2021-03-04 23:07
你这里所说的“不同”，是不是指管式和板式的差别呢？管式PECVD的工艺原理是通过低压气氛的射频放电产生等离子体，辅助以加热系统，从而在wafer表面沉积镀膜；而板式PECVD则是通过石英管保护的铜管，将微波导入工艺腔室，从而加热气体等离子，最后实现在wafer表面沉积薄膜的目的。
全部回答
- 1楼网友：怪咖小青年
- 2021-03-05 00:35
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