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物理气相沉积法与化学气相沉积法有何区别

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解决时间 2021-10-15 11:02
物理气相沉积法与化学气相沉积法有何区别
最佳答案
太一般了,CVD,PCD包含了多种制备方法,通过不同的制备方法制得的薄膜的结构和性质是不太一样的...然而,比一般的CVD法的PVD的稳定性更好,但PVD增长通过以下方式获得的膜的膜是比较快的...
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