在真空镀膜（磁控溅射）中，脉冲偏压电源为什么比直流电源好？
答案:1 悬赏:50
解决时间 2021-01-23 01:34
- 提问者网友：龅牙恐龙妹
- 2021-01-22 04:36
在真空镀膜（磁控溅射）中，脉冲偏压电源为什么比直流电源好？
最佳答案
- 二级知识专家网友：罪歌
- 2021-01-22 05:20
使用直流电源，电子方向始终统一，会导致单一种类电荷堆积过高与控制源中和。也就是说用来提供动力的正负极被中和了。然后磁控溅射将不再继续。所以采用脉冲电源。
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