mems加速度传感器有什么特点

mems加速度传感器有什么特点

在此背景下，许多新兴市场需求涌现，客观上再次促进传感器技术的创新。日前，由中国电子[0.630.00%]科技集团第13研究所研制的MEMS加速度传感器突破了高精度SOI工艺加工、圆片级可调阻尼封装、低功耗ASIC专用集成电路等关键技术，在国际招标项目中，一举战胜美国PCB公司和瑞士奇石乐等国际知名传感器厂商。这是国产MEMS加速度传感器首次在国际招标中获胜，标志着中国电科MEMS加速度传感器已达到国际先进产品水平。MEMS加速度传感器具备高精度、高分辨率(分辨率优于10μg)、低噪声(13所2.5μg，国外同类产品约5μg)、低功耗、低温漂、抗过载和超小体积(体积是国外同类产品1/4)、重量小于1.2克(国外同类产品约10克)等技术特点，主要技术指标全面超越国外同类产品。目前，MEMS传感器主要应用在汽车和消费电子两大领域。汽车工业是传感器的一个重要应用领域。每辆汽车会有40到上百个传感器，而汽车智能化的发展趋势也将促进汽车市场对传感器的需求。

中国电子[0.630.00%]科技集团第13研究所研制的MEMS加速度传感器突破了高精度SOI工艺加工、圆片级可调阻尼封装、低功耗ASIC专用集成电路等关键技术，在国际招标项目中，一举战胜美国PCB公司和瑞士奇石乐等国际知名传感器厂商。这是国产MEMS加速度传感器首次在国际招标中获胜，标志着中国电科MEMS加速度传感器已达到国际先进产品水平。MEMS加速度传感器具备高精度、高分辨率(分辨率优于10μg)、低噪声(13所2.5μg，国外同类产品约5μg)、低功耗、低温漂、抗过载和超小体积(体积是国外同类产品1/4)、重量小于1.2克(国外同类产品约10克)等技术特点，主要技术指标全面超越国外同类产品。目前，MEMS传感器主要应用在汽车和消费电子两大领域。汽车工业是传感器的一个重要应用领域。每辆汽车会有40到上百个传感器，而汽车智能化的发展趋势也将促进汽车市场对传感器的需求。

a.可提高信噪比。在同一个芯片上进行信号传输前可放大信号以提高信号水平，减小干扰和传输的噪声，特别是同一芯片上进行A/D转换时，更能改善信噪比。 b.可改善传感器悸性能。因这种传感器集成了敏感元件、放大电路和补偿电路（如微型压力传感器）在同一芯片上在实现传感探测的同时具有信号处理的功能（在同一芯片上的反馈电路可改善输出钽电容的线性度和频响特性）：因为集成了补偿电路，可降低由温度或由应变等因素引起的误差；在同一芯片上的电压式电流源可提供自动的或周期性的自校准和自诊断。 c.输出信号的调节功能。集成在芯片上的电路可以在信号传输前预先完成A/D转换、阻抗匹配、输出信号格式化以及信号平均等信号调节和处理工作。 d.MEMS传感器还可以把多个相同的敏感元件集成在同一芯片上形成传感器阵列（如微型触觉传感器）；或把不同的敏感元件集成在同一芯片上实现多功能传感（如微型气敏传感器）。c%ddz e.由于MEMS传感器体积微小，重量极轻，因此其附贴片钽电容加质量等因素对被测系统的影响可以忽略不计，可提高测量精度。