峨眉山半导体厂多晶硅的具体生产工艺是怎样的啊？

峨眉山半导体厂多晶硅的具体生产工艺是怎样的啊？

2007年3月16日，峨嵋半导体材料厂18对棒多晶硅还原炉（简称大型还原炉）经过100多个小时的正常运行，成功产出直经为85毫米、重量为764．9公斤的多晶硅。这是国内首台成功运行的18对棒多晶硅还原炉。标志着峨半厂多晶硅生产技术处于国内同行业领先水平。
作为生产多晶硅的国有骨干企业，截至今年3月底，峨眉半导体材料厂资产总额为2.84亿元。现已形成年产多晶硅100吨、单晶硅100吨、硅片加工40吨、高纯金属70吨的生产能力。
峨眉半导体材料厂年产500吨电磁极多晶硅技改项目位于峨眉山市工业园区内，占地104亩，是该企业现有年产200吨生产线技改基础上不断总结、完善形成的，它采用的工艺和技术代表了当今世界先进水平。该项目生产的多晶硅产品具有耐高压、体积小、效率高、寿命长及可靠性好等优点，是生产集成电路、半导体器件、国防军工和信息产业的重要基础材料。峨眉半导体材料厂电路级多晶硅项目建成后，将缓解国内多晶硅产品严重短缺的现状，实现年销售收入4.75亿元，创造良好的社会效益和经济效益。
早在1999年峨半厂100吨多晶硅生产线建成时，大型还原炉就自主研制成功，因为存在一定的工艺缺陷而被闲置。去年6月28日峨半厂与东汽公司（原东方汽轮机厂）强强联手后，企业发展驶入前所未有的快车道。东方汽轮机厂的资金优势与峨眉半导体厂的技术优势相结合，有利于峨眉半导体厂500吨多晶硅项目的启动。项目合作后，东方汽轮机厂首期对峨眉半导体厂注入6亿元资金，启动500吨多晶硅、单晶硅、硅片等相关项目，同时启动与500吨多晶硅项目匹配的光伏产业项目。 “十一五”期间，东方汽轮机厂将在乐山建成1500吨多晶硅及相关产业链项目，并将太阳能光伏产业作为该厂的主导产业。项目完成后，整个产业链预计将新增销售收入100亿元。

为迅速扩大多晶硅产量，提升多晶硅生产技术水平，峨半厂于去年11月组织精兵强将对大型还原炉进行改造。经过4个多月努力，改造后的大型还原炉首次运行就获得成功，标志着峨半厂多晶硅生产技术处于国内同行业领先水平。 据峨半厂厂长胡蕴成介绍，此次对大型还原炉实施改造达到了预期目的。一是巧妙改造费用省。此次技改，全部费用仅用10余万元，比原计划节约近60万元。二是变闲为宝效益增。大型还原炉重新启用后，全年多晶硅产量将增加30多吨，可新增产值3000多万元。三是技术储备影响大。大型还原炉的成功运行，为峨半厂年内将进行的500吨电路级多晶硅项目建设以及今明两年将开展的3×1500吨太阳能级多晶硅项目建设积累了宝贵的数据资料。