操作sem时需要注意哪些事项

操作sem时需要注意哪些事项

S—4300F型扫描电子显微镜操作规程：

① 将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。推紧预抽室门按下EVAC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1推入样品后关闭MV1；

② 换样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1取出样品，关闭MV1重复第一步；

③ 打开主机面板上display power 开关，接通操作系统开关，按照计算机提示进入WINDOWS操作界面；

④ 点击桌面上的PC—SEM文件夹，进入扫描电镜操作平台；

⑤ 打开LOCK开关，拨向AOUT OPEN方向，点击SEM操作界面上的vacc打开高压对话框。将电流设置在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节，调节范围1kv~20kv，点击ON，打开高压系统；

⑥ 调节样品位置，选择所需结构。利用桌面上AUTO按钮调节图像的对比度和亮度，调节扫描速度，得到一幅满意的图像。打开光路调节键，利用Beam、Aperture、StigX、StigY、STIGMATOR/ALIGNMENT相互配合调节光路系统；

⑦ 选择选区扫描速度，调节高倍像中的像散，最终得到一幅高清晰图像，

⑧ 存图像数据：点击Speed 3，点击M键，关闭Image窗口选择Yes，确定存储路径点击Save完成图像的抓取；

2. 注意事项：

①换样品时样品杆只能在X方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等；

②样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；

③样品台锁定系统打开后，样品台只允许X、Y向的移动，不得做其他运动；

③每次更换样品前后必须观察P1、P2、P3三级离子泵的真空情况，其中P1、P2不得小于3*10/-7，P3不得小于7*10/-7，如低于上述标准不得加高压；

④如使用数码打印机打印图像，必须使SEM操作平台提前检索到打印机；

⑤磁性材料的测试必须提前和管理人员联系，弱磁性材料必须经管理人员认可后方可上机实验，强词性材料不得上机测试，否则将停止其上机资格；

⑥粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜；

我暂时保留我的看法！