BOE玻璃WV4-300是什么意思

BOE玻璃WV4-300是什么意思

飞秒检测发现BOE（Buffered Oxide Etch）称为缓冲氧化物刻蚀液。由氢氟酸（49%）与水或氟化铵与水混合而成。6:1 BOE蚀刻即表示49%HF水溶液：40%NH4F水溶液=1：6（体积比）的成分混合而成。刻蚀速度约2nm每秒。HF为主要的蚀刻液，NH4F则作为缓冲剂使用。利用NH4F固定〔H+〕的浓度，使之保持一定的蚀刻率。